美國TEM-100系列濾波器使用注意事項
美國TEM-100系列濾波器是專門設計的用于半導體級過濾惰性氣體和CDA(清潔干燥空氣)。這是全焊接的組件將提供0.003微米的顆粒保留。東莞市科比特工業自動化設備有限公司是美國TEM-100系列濾波器中國*經銷商,接下來為您詳細介紹美國TEM-100系列濾波器使用注意事項。
需要高流速且空間有限的地方。聚四氟乙烯膜和聚丙烯支撐濾芯封裝在316L不銹鋼電拋光焊接外殼中。最后的裝配用清洗劑清洗用于初始清潔度的過濾氮氣。提供多種配件類型,便于安裝。
美國TEM-100系列濾波器使用注意事項如下:
板上濾波器雖然對高頻的濾波效果不理想,但是如果應用得當,可以滿足大部分民用產品電磁兼容的要求。在使用時要注意以下事項:
如果決定使用板上濾波器,在布線時就要注意在電纜端口處留出一塊“干凈地",濾波器和連接器都安裝在“干凈地"上。通過前面的討論,可知信號地線上的干擾是十分嚴重的。如果直接將電纜的濾波電容連接到這種地線上,會造成嚴重的共模輻射問題。為了取得較好的濾波效果,必須準備一塊干凈地。并與信號地只能在一點連接起來,這個流通點稱為“橋",所有信號線都從橋上通過,以減小信號環路面積。
并排設置:同一組電纜內的所有導線的未濾波部分在—起,已濾波部分在一起。否則,一根導線的耒濾波部分會將另一根導線的已濾波部分重新污染9使電纜整體濾波失效。
靠近電纜:濾波器與面板之間的導線的距離應盡量短。必要時,使用金屬板遮擋一下,隔離近場干擾。
與機箱接:安裝濾波器的干諍地要與金屬機箱可靠地搭接起來,如果機箱不是金屬的,就在線路板下方設置一塊較大的金屬板來作為濾波地。干凈地與金屬機箱之間的搭接要保證很低的射頻阻抗。如有必要,可以使用電磁密封襯墊搭接,增加搭接面積,減小射頻阻抗。
接地線短:考慮到引腳的電感效應,其重要性前面已討論,濾波器的局部布線和設計線路板與機箱(金屬板)的連接結構時要特別注意。
美國TEM-100系列濾波器應用如下:
•一般和工藝惰性氣體設施半導體、平板顯示器等高純度應用。
•用于關鍵平板工藝的氣體,包括襯底退火。
•關鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*)包括前開口統一吊艙(FOUP)清潔和光刻。
美國TEM-100系列濾波器規格:
•3nm過濾器額定值我們的多孔PTFE過濾器提供高效的顆粒過濾器0.003μm時的保留效率。
•高工作溫度
惰性氣體中的溫度為80℃(176℉)。關于CDA,請咨詢Porvair,以獲得建議60°C(140°F)以上應用中的過濾器壽命。
•大工作壓力在20°C(68°F)下為17.2bar(250psig)。
美國TEM-100系列濾波器特征
•聚四氟乙烯介質/聚丙烯/氟橡膠®建設1.95米2(21英尺2)聚四氟乙烯過濾介質提供優異的流動性和耐化學性。
•電拋光316L外殼過濾器組件有一個10Ra電拋光316L不銹鋼外殼,以防止腐蝕和顆粒形成。
•潔凈室制造我們的加斯珀™ TEM-100過濾器在美國制造潔凈室,以確保無顆粒,化學清潔、無有機物的搬運和裝袋提供高的包裝外清潔度。附加預處理是可選的。
•多種配件選項易于安裝和靈活性。標準配件選項包括端面/墊片密封(至1“)壓縮、對接焊和NPT專用配件,包括三夾(三葉草)衛生和法蘭類型可能可用。
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