heidenhain敞開式光柵尺@德國海德漢一級經銷
敞開式光柵尺是專門為機械和那些特別需要高精度測量值的裝置設計的。
典型應用包括:
· 半導體行業的測量和生產設備
· 印刷電路版裝配機械
· 超精密機械
· 高精度機床
· 計量機和比較儀、測量顯微鏡和其它精密測量裝置
· 直接驅動
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heidenhain敞開式光柵尺@德國海德漢一級經銷
敞開式直線光柵尺 結構類型 |
系列 | 主要特點 | 精度等級 | 測量長度 | LIP 300 | - 于超高精度測量
- 玻璃陶瓷或玻璃光柵尺
- 干涉掃描,信號周期小
| ± 0.5 µm | 70 至 270 mm | LIP 400 | - 于超高精度測量
- 玻璃陶瓷或玻璃光柵尺
- 干涉掃描,信號周期小
| ± 1 µm | 70 至 420 mm | LIP 500 | - 于超高精度測量
- 玻璃陶瓷或玻璃光柵尺
- 干涉掃描,信號周期小
| ± 3 µm | 70 至 1440 mm | LIF | - 于超高精度測量
- 帶PRECIMET粘膜膠帶
- 干涉掃描,信號周期小
- 限位開關和回零軌
| ± 3 µm | 70 至 1020 mm | LIDA 200 | - 用于高速運動和大長度測量
- 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中或粘貼在安裝面中
| ± 30 µm | 至 10 000 mm | LIDA 400 | - f用于高速運動和大長度測量
- 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中或粘貼在安裝面中
- 限位開關
| ± 5 µm ± 15 µm | 140 至 30 040 mm 240 至 6040 mm | LIDA 500 | | ± 5 µm | 70 至 1020 mm | PP | | ± 2 µm | 68 mm x 68 mm | |